Projet de comité
ISO/CD 19383
Atomic Layer Deposition-- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Numéro de référence
ISO/CD 19383
Edition 1
© ISO 2024
Projet de comité
Projet
Examen du projet par le comité en cours.

Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

  • État actuel
     : Projet
    Stade
    : Mise en consultation du CD [30.20]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

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