Borrador del Comité
ISO/CD 19383
Atomic Layer Deposition-- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO/CD 19383
Edition 1
© ISO 2024
Borrador del Comité
En desarrollo
El comité está revisando un borrador.

Resumen

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informaciones generales

  • Estado
     : En desarrollo
    Etapa
    : Estudio de CD iniciado [30.20]
  • Edición
     : 1
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
  • RSS actualizaciones

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