Résumé
PrévisualiserISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
-
État actuel: PubliéeDate de publication: 2016-08
-
Edition: 2
-
- ICS :
- 37.020 Matériel optique
Acheter cette norme
fr
Format | Langue | |
---|---|---|
std 1 92 | ||
std 2 92 | Papier |
- CHF92
Cycle de vie
-
Précédemment
AnnuléeISO 16700:2004
-
Actuellement
PubliéeISO 16700:2016
Les normes ISO sont réexaminées tous les cinq ans
Stade: 90.60 (En cours d'examen)
Vous avez une question?
Consulter notre FAQ
Service à la clientèle
+41 22 749 08 88
Horaires d’ouverture:
De lundi à vendredi - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)