Numéro de référence
ISO/TS 25138:2019
© ISO 2025
Spécification technique
ISO/TS 25138:2019
Analyse chimique des surfaces — Analyse de films d'oxyde de métal par spectrométrie d'émission optique à décharge luminescente
Edition 2
2019-08
Annulée
Annulée (Edition 2, 2019)

Résumé

This document describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films.

This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn, Zr and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2019-08
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 8
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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