ISO/AWI 4508
u
ISO/AWI 4508
80040

Текущий статус : В стадии разработки

Тезис

This International Standard specifies the guidelines of the method and procedure for determining the effect of temperature on atomic force microscope (AFM) nano-scale dimension measurements. The effect of temperature can be evaluated by continuously measuring the changes of the X- and Y- pitches and height of a two-dimensional (2D) calibration grating in an environmental temperature controllable AFM. If necessary, this method and procedure can be used to evaluate the effect of temperature on dimension measurement of other scanning probe microscopes(SPMs).

Общая информация

  •  : В стадии разработки
    : Регистрация новой рабочей темы в программе работ ТК/ПК [20.00]
  •  : 1
  • ISO/TC 201/SC 9
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)