ISO/TC 202/SC 4 - Microscopie électronique à balayage

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Norme et/ou projet sous la responsabilité directe du ISO/TC 202/SC 4 Secrétariat	Stade	ICS
ISO 16700:2004 Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image	95.99	37.020
ISO 16700:2016 Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image	90.60	37.020
ISO/TS 21383:2021 Titre manque	60.60	37.020
ISO 21466:2019 Analyse par microfaisceaux — Méthode d’évaluation des dimensions critiques par CD-SEM	60.60	37.020
ISO/WD 24418 Titre manque	20.98
ISO/TS 24597:2011 Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Méthodes d'évaluation de la netteté d'image	90.60	37.020

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